IMFP(\)-非彈性平均自由程。具有一-定能量的電子連續(xù)發(fā)生兩次有效的非彈性碰撞之間所經(jīng)過的平均距離(nm單位)，稱為電子的韭彈性平均自由程，在表面分析中是一個重要參數(shù)，它與電子能量和表面材料有關(guān)，它可用來估計具有不同特征能量的電子所攜帶的信息深度。
表面靈敏性：一般來講，分析方法的表面靈敏度依賴于所檢測的輻射。表面分析技術(shù)以電子能譜為中心，作為信息載體的特征，電子從被X射線照射的樣品中發(fā)射出，然后到達(dá)能量分析器和檢測器進(jìn)行分析測量。在X射線光電子能譜中，盡管轟擊表面的X射線光子可透
入固體很深(~1um)，但由于電子在固體中的非彈性散射截面很大，只有小部分電子保持原有特征能量而逸出表面。可被檢測的無能量損失的出射電子僅來自于表面的1~10 nm。在固體較深處產(chǎn)生的電子也可能逸出，但在其逸出的路徑中會與其它原子碰撞而損失能量，因而它
們對分析是無用的。電子能譜的表面靈敏性是在固體中輸運(yùn)而沒有被散射的短距電子的結(jié)果。
表1-1不同粒子透入固體樣品的深度
粒子類型 能量 透入深度
光子 1,000 eV . 1,000 nm
電子 1 ,000 eV 2 nm
離子 1,000 eV 1 nm
實驗表明電子在固體中非彈性散射截面很大，其非彈性平均自由程(具有一定能量的電子連續(xù)發(fā)生兩次有效的非彈性碰撞之間所經(jīng)過的平均距離)很短。因此只有在極淺表層中的小部分電子保持原有特征能量而逸出表面。
